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线带材连续真空镀膜生产线-空对空连续磁控溅射, PVD离子镀设备. 是在真空环境下,对线带材(如金属丝、金属带等)进行连续镀膜的设备。它主要基于物理气相沉积(PVD)原理,例如磁控溅射或蒸发镀膜。在磁控溅射过程中,通过在真空室内产生等离子体,等离子体中的离子在电场作用下轰击靶材,使靶材原子溅射出并沉积在线带材表面;蒸发镀膜则是将镀膜材料加热蒸发,使其原子或分子在真空环境中运动并沉积到线带材上。 ​

背景


线带材连续真空镀膜生产线的技术说明

1.线带材的主要类型:金属导线类线材,厚度小于1mm的金属卷带材, 光纤,化纤加捻长丝和线 (含玄武岩纤维和碳纤维线材)

2.经过几十年的研究开发,真空镀膜现在已经相当成熟,具有明确的工业化应用前景。如何将真空镀膜技术运用在线带材的表面处理上是一项综合性技术, 利用真空镀膜技术来改性线带材的表面特性和功能是一个未来人工智能器件轻量化的方向

现有带材真空镀膜生产线有以下几种:

(1) 分离型。

生产线不包括带材清洗前的处理,它将一卷经过清洗前处理的钢带, 放进一个装有开卷、预热、镀膜及收卷设备的密闭真空容器中,抽到一定真空度后进行预热,然后进行镀膜操作。该设备结构简单,但生产效率较低,处理后的带材容易受到二次污染。 

(2)“空到空”全连续型。

所谓“空到空”(Air-to-Air),指的是带材首先在大气中经过清洁处理,然后进入真空室,进行镀膜,再经增压室回到大气的连续式生产过程。

该生产线包括了带材清洁前处理和缓冷、退火后处理等机组,并有活套装置以及压差室。设备结构和控制系统较复杂,投资较大,但生产效率高,容易达到规模产量,真正实现了从原料带卷到镀膜带材成品带卷的真空连续生产。

(3)万能型

它的特点是将带材清洁前处理,热浸镀,镀膜三种工艺串在一起,形成完全连续式生产线,使湿法、干法两种镀膜工艺相互搭配兼容,生产经济、优质的镀膜带材。 

(4)多层镀膜型

该生产线采用电子束加热真空镀膜、真空溅射镀膜以及等离子辅助气相镀膜等多种现代电物理镀膜方法。

带材的前处理分别采用了电子束预热 清理和辉光放电等离子轰击。可对同一带材的表面,运用不同镀膜方法进行多层镀膜。

第一层镀膜要求附着力好,采用真空溅射镀膜;
第二层使用电子束加热蒸发镀膜,具有电子束能量密度大,加热温度高,可镀材料范围广等优点;
第三层使用等离子增强化学气相镀膜,这种镀膜均匀光滑,膜层硬,化学稳定性好,可用于最外层保护膜。

带材真空镀膜总的来说,目前仍处在发展的初级阶段,成本较高而生产率较低, 故在带材表面处理中所占份额还远不能与热浸镀、电镀相比,但是,其产品的高附加值特点以及其它种种优点,显示了其良好的应用前景。



应用

1. 电子行业

用于生产电子元件的连接线带材。例如,在半导体芯片的连接线带材上镀膜,可以提高其导电性和抗腐蚀性。在柔性电路板(FPC)的制造中,对线带材进行镀膜可以增强其电磁屏蔽性能,通过镀上金属(如铜、银等)膜层来实现。

2. 包装行业

一些高档包装材料的生产需要用到线带材连续真空镀膜。例如,在包装用的铝箔带上镀膜,可增加其阻隔性能,如对氧气、水汽的阻隔,从而延长被包装产品的保质期。同时,通过镀膜还可以改变包装材料的外观,使其具有金属光泽,提高产品的视觉吸引力。

3. 汽车行业

汽车内饰中的一些线带材(如装饰条等)可以通过连续真空镀膜来提高其美观度和耐腐蚀性。在汽车发动机部件的连接线带材上镀膜,能增强其耐高温和抗磨损性能,保证汽车在高温、高负荷的运行环境下,连接线带材的性能稳定。
空气对空气在线溅射沉积系统的其他应用


1. 金属导电丝

2. 厚度小于 1mm 的金属卷带

3. 光纤电缆

4. 化纤电线

5. 化纤线

6. 玻璃纱和碳纱铜镀层

7. 碳纱和玻璃纱铝镀层

9. PVD 镀银铜线,

10. 镀银光纤电缆

11. 镀金线机

12. 镀银铜带

13. 铜、青铜和黄铜电缆镀银

14. 新型铜线和带多层镀层生产线

15. 光纤电缆镀银机

可镀层基材:

细线和带:金属线、厚度小于 1mm 的金属卷带、光纤、化纤扭绞丝和线(包括玄武岩纤维和碳纤维线)、玻璃纱、碳纱。



技术优势

1. 高效生产

由于是连续式生产,能够实现大规模、高效率的线带材镀膜。与传统的间歇式镀膜方法相比,可以大大提高生产效率,降低生产成本。例如,一条先进的线带材连续真空镀膜生产线的生产速度可以达到每分钟数十米甚至更高,能够满足大量的工业生产需求。

2. 高质量镀膜

真空环境和精确的工艺控制保证了镀膜质量。可以获得均匀、致密的膜层,膜层的厚度和性能可以通过调节镀膜工艺参数(如溅射功率、蒸发温度、真空度等)进行精确控制。这使得线带材在导电性、耐腐蚀性、光学性能等方面得到显著提升。

3. 环保节能

相比于一些传统的化学镀膜方法,线带材连续真空镀膜生产线在真空环境下主要采用物理气相沉积技术,减少了化学试剂的使用,降低了对环境的污染。同时,通过优化的工艺设计和设备配置,在能源利用方面也更加高效,例如,通过合理的真空系统设计可以降低真空泵的能耗。

技术规范

生产线组成部分

1. 放卷装置

这是生产线的起始部分,用于放置线带材卷材。它可以容纳不同规格(如不同宽度、厚度和长度)的线带材。放卷装置通常具备张力控制功能,能够保证线带材以稳定的张力被输送到后续的加工环节,避免线带材在输送过程中出现松弛或过紧的情况,影响镀膜质量。

2. 清洗装置

为了确保镀膜的附着力,需要对线带材进行清洗。清洗装置可以采用化学清洗和物理清洗相结合的方式。例如,先用有机溶剂(如丙酮、乙醇等)去除线带材表面的油污,然后通过超声波清洗去除表面的微小颗粒和氧化物。清洗后的线带材表面更加洁净,有利于镀膜材料的附着。

3. 真空系统

这是生产线的关键部分,包括真空泵、真空管道和真空室。真空泵用于抽出真空室内的空气,使室内达到一定的真空度,一般可以达到 10?3 - 10??帕斯卡的范围。真空管道用于连接真空泵和真空室,保证真空环境的稳定。真空室是进行镀膜操作的空间,其内部的真空环境可以减少镀膜过程中杂质气体的干扰,提高镀膜质量。

4. 镀膜装置

根据镀膜工艺的不同,镀膜装置可以是磁控溅射装置或蒸发镀膜装置等。磁控溅射装置通常包括磁控溅射靶材、电源和磁场发生装置。磁控溅射靶材是镀膜材料的载体,电源用于产生电场,使等离子体中的离子加速轰击靶材,磁场发生装置可以改变等离子体的运动轨迹,提高溅射效率。蒸发镀膜装置则包括加热源和蒸发舟等,加热源用于将镀膜材料加热至蒸发状态,蒸发舟用于盛放镀膜材料。

5. 冷却装置

镀膜后的线带材温度可能会升高,冷却装置用于对线带材进行冷却。它可以是风冷或水冷系统。风冷系统通过风扇产生的气流对线带材进行冷却,水冷系统则是通过循环冷却水带走线带材的热量。冷却后的线带材可以更好地进行收卷和后续的加工处理。

6. 收卷装置

用于将镀膜后的线带材进行收卷。收卷装置同样需要具备张力控制功能,保证收卷的线带材松紧适度。它还可以对收卷的线带材进行计数和长度测量等操作,方便生产管理。