PVD多弧离子镀真空镀膜系统主要用于装饰镀镀膜。
优点:环保、操作简便、占地面积小、投资成本低
镀膜颜色:金色、玫瑰金色, 香槟金, 浅锆金,枪黑色、棕色、灰色、铬色等。
金色:TiN、ZrN、
玫瑰金色:TiCN、TiAlN、Cu
铬色:CrN、TiC、Cr
灰色:不锈钢、不锈钢 (N)
棕色:TiCN、TiAlCN、ZrC
蓝色:TiO、CrO、TiALN
黑色:TiC、TiC+iC、TiCN、TiAlN、TiAlCN
基材:不锈钢板材和管材、金属合金、玻璃、陶瓷材料
镀膜优势:光泽度高、颜色鲜艳、附着力强、防刮性能好、沉积速度快、衍射性好。
特点
本系列设备由真空室、真空泵、电弧源、转架、夹具结构、加热和冷却、水和气体集成系统)、电气控制和操作系统等组成。
设计亮点:
1. 灵活性:阴极弧标准化,可灵活快速更换靶材;
2. 多功能性:可在金属和非金属材料基材上沉积各种贱金属和合金;光学涂层、硬涂层、软涂层、化合物膜和固体润滑膜。
3. 强大的泵组,缩短循环时间,提高生产率。
4. 多种沉积源,适用于不同的基材。
5.永容科技专属电弧源,保证涂层质量高,无色差。
6. 交钥匙涂层解决方案。
性能
1.极限真空压力:优于8.0×10-4 Pa
2.工作真空压力:1.0×10-2 Pa。
3.抽真空时间:从1个大气压到8.0×10-3Pa≤15分钟(室温,清洁和卸载)
4. 漏率:9.0-5 Pa m3/秒。或从极限压力关机后1小时内优于0.67Pa。
5. 沉积材料:不锈钢、铬、钛、钛铝、锆……等。
6. 沉积源:电弧阴极
7. 操作模式:全自动/半自动/手动
8. 安全电气和联锁装置:多种安全联锁装置,保护操作员和设备(水、电流等)9:加热至 250℃,
设备型号 |
RTAC-1600 |
腔体材质 |
不锈钢 (S304) |
腔体尺寸 |
Φ1600*1800mm (H) |
腔体结构 |
立式,圆腔, 前侧开门 |
真空机组 |
1*SV630BF+1*WAU2001+1*TRP90 |
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4台分子泵或者2台 油扩散泵 |
镀膜技术 |
多弧离子镀 |
转架系统 |
8轴φ350*H1400 或者 10轴φ290*H1400 |
膜沉积电源 |
弧电源+偏压电源轰击清洗 |
膜沉积源 |
18套弧阴极 |
操控系统 |
PLC+触摸屏, 或者 西门子PLC+工业电脑 |
气体控制 |
MFC 气体质量流量计 |
安全系统 |
操作程序多重互锁功能保证操作人员和设备安全 |
冷却 |
冷却循环水 |
加热 |
PID 测温, 加热器,分区布局,保证加热均匀性 |
最大/平均 耗电量 (KW) |
140 /80 |
设备布局图