PVD多弧离子镀真空镀膜系统主要用于装饰镀镀膜。
优点:环保、操作简便、占地面积小、投资成本低
镀膜颜色:金色、玫瑰金色, 香槟金, 浅锆金,枪黑色、棕色、灰色、铬色等。
金色:TiN、ZrN、
玫瑰金色:TiCN、TiAlN、Cu
铬色:CrN、TiC、Cr
灰色:不锈钢、不锈钢 (N)
棕色:TiCN、TiAlCN、ZrC
蓝色:TiO、CrO、TiALN
黑色:TiC、TiC+iC、TiCN、TiAlN、TiAlCN
基材:不锈钢板材和管材、金属合金、玻璃、陶瓷材料
镀膜优势:光泽度高、颜色鲜艳、附着力强、防刮性能好、沉积速度快、衍射性好。
设备特点
本系列设备由真空室、真空泵、电弧源、转架、夹具结构、加热和冷却、水和气体集成系统)、电气控制和操作系统等组成。
设计亮点:
1. 灵活性:阴极弧标准化,可灵活快速更换靶材;
2. 多功能性:可在金属和非金属材料基材上沉积各种贱金属和合金;光学涂层、硬涂层、软涂层、化合物膜和固体润滑膜。
3. 强大的泵组,缩短循环时间,提高生产率。
4. 多种沉积源,适用于不同的基材。
5.永容科技专属电弧源,保证涂层质量高,无色差。
6. 交钥匙涂层解决方案。
设备性能
1.极限真空压力:优于8.0×10-4 Pa
2.工作真空压力:1.0×10-2 Pa。
3.抽真空时间:从1个大气压到8.0×10-3Pa≤15分钟(室温,清洁和卸载)
4. 漏率:9.0-5 Pa m3/秒。或从极限压力关机后1小时内优于0.67Pa。
5. 沉积材料:不锈钢、铬、钛、钛铝、锆……等。
6. 沉积源:电弧阴极
7. 操作模式:全自动/半自动/手动
8. 安全电气和联锁装置:多种安全联锁装置,保护操作员和设备(水、电流等)
9. 加热至 250℃,
技术规格
型号 RTAC1200
材料 不锈钢
腔体尺寸 φ1200*1500mm (H)
真空机组系统
双级旋片泵(MP 机械泵)
直连真空泵(HP 维持泵)
罗茨真空泵(RP)
涡轮分子泵(TP,高真空)
镀膜技术: 离子镀(多弧源)+脉冲偏压等离子清洗
转架系统: 行星杆:10轴
可镀靶材: SS不锈钢, 钛、锆、铬、钛铝, 铜等。
气体质量流量计(Ar、N2、C2H2、O2)氩气、氮气和乙炔、氧气
电控操作: 西门子 PLC + IPC 远程控制
安全系统: 多种安全联锁装置,保护操作员和设备
冷却: 水
加热: 加热器
功率 最大 75KW(约)
平均功耗 40KW(约)
设备布局图
如需更多详细资料,请联系我们,永容科技 很荣幸为您提供全面的涂层解决方案.