RTEP2500-HMDSO 为订制 PVD与PECVD复合式真空镀膜设备. 上海永容光电科技有限公司成功开发并制造了高真空金属化设备，用于在3D汽车亚克力汽车广告牌上制造高质量的镜面和半透效果的金属薄膜。 其采用PVD热电阻式蒸发技术，在PMMA（亚克力）表面沉积高反射膜，可提供的涂层有如下特性：在白天，3DLOGO标识牌看起来像固体金属（不锈钢效果）；而在晚上，它们从前、后和侧视图角度看起来是发光的. （内部安装了LED灯照明）
永容科技成功开发了3种型号的汽车车标广告牌金属化设备，服务于全球涂层服务加工中心：韩国、墨西哥和中国等制造商.
RTEP2500-HMDSO 为 PVD与 PECVD制程相结合的涂层工艺设备.
其工作原理: 利用PVD物理气相沉积方式， 将吸塑好的工件放入真空室.并且预装好的钨丝,铝丝,镍铬丝等蒸镀材料.在真空泵的运转下抽真空,当真空室的真空压力达到5.0×10-2~8.0×10-3Pa时,对镀膜材料蒸发气化沉积在旋转的工件上,从而形成一层高密度,高均匀性,高反射的纳米金属涂层. 随后在金属涂层表面利用PECVD方式镀制保护涂层: 硅油. 节省UV喷漆保护涂层的制程步骤.
膜层性能:PMMA(亚克力)表面上的PVD金属层 特性如下: 在白天,标志LOGO看起来像固体金属(不锈钢效应)；在晚上,他们被照亮(LED灯内安装)从前面,背部和侧面的方向看去仍然醒目. 这一制程代替了原传统的贴膜是方法.
LED发光汽车车标广告牌，PC/PMMA塑料金属化，铝/银/铜/NiCr合金金属化，PC镜子真空镀膜。
采用PVD真空金属化技术，可以控制薄膜厚度，涂层工艺更加环保，是取代传统铬电镀工艺的理想涂层解决方案。 此外，更多的好处是：
1, 耐用，生命时间高达5~8年，即使在户外。
2. 易于组装和维护。
3.安全、可靠。PMMA材料使它比金属标志的重量比金属标志轻得多，大大降低了在事故中受伤的风险。
4.出色的美学装饰：在白天，汽车标志符号看起来像固体金属（不锈钢效果）；而在晚上，它们从前、后和侧视图被照亮（内部安装了LED灯)
立式带行星式旋转转架的圆柱形腔室
设备型号：RTEP2500-HMDSO
1. 等离子体清洗，氩气轰击装置，辉光放电系统。
2. 利用PECVD工艺做金属化涂层的后处理--保护膜。
3. 坚固的结构设计和高质量的配置
3. PLC +触摸屏操作系统，全自动/手动控制
4. 高真空排气系统
5. 专门设计的行星式转架旋转结构, 可镀制高均匀性薄膜
6. 便于进入真空腔体进行维保
技术规格：
技术性能
1.极限真空压力：优于5.0×10-6 Torr。
2.工作真空压力：1.0×10-4 Torr。
3. 抽气时间：从 1 atm 到 1.0×10-4 Torr≤3 分钟（室温、干燥、清洁和空腔）
4. 金属化材料（蒸发）：Al、Cr、Sn、Ti、SS、Cu……等。
5. 操作模式：全自动/半自动/手动
设备结构
真空镀膜机包含以下关键完整系统：
1. 真空腔体
1.1 尺寸：内径：2500mm
内高：2500mm
1.2 材料：真空室：SS41 低碳钢
门和法兰：SS41 低碳钢
真空腔体加强筋：SS41 低碳钢，表面涂漆处理。
真空腔体底架: SS41 低碳钢，表面涂漆处理。
1.3 蒸发屏蔽：SUS304
1.4 观察窗：位于室门上
1.5 真空室排气阀（包括消音器）
1.6 门：SS41 低碳钢
2. 粗真空抽气系统（前级泵包）
3. 高真空抽气系统（扩散泵 + 冷阱装置）
4. 电气控制和操作系统 - PLC + 触摸屏
4.1 主电路：无保险丝断路器开关、电磁开关、C/T 串联类型
4.2 蒸发电源
4.3 蒸发控制系统
4.4 操作系统：触摸屏 + PLC、配方控制和数据记录、自动关机、自动抽真空、自动涂层
4.5 真空压力测量系统
真空计：皮拉尼 + 彭宁计
热电偶计：760 Torr ~ 5*10-4 Torr
4.6 报警系统：压缩空气压力、冷却水流量、误操作
4.7 电源负载指示器：电压指示器和负载电流指示器
5. 沉积系统
5.1 钨丝蒸发源
5.2 Cr/Al 丝
6. 其它系统
6.1 空气压缩阀控制系统
6.2 冷却水系统：水流管道和开关阀系统
6.3 Polycold (-120~-145℃) Brooks 低温泵可选。
7. 工作环境
压缩空气：5~8kg/cm2
冷却水：进水温度：20~25℃，200 升/分钟，
进水压力：2~3 kg/cm2，
电源：3 相 380V 50Hz(60Hz)，150kVA
安装面积：(长*宽*高) 6300*5600*3500mm
排气：机械泵排气口
强烈建议使用无尘室
设备布局图
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- 项目时间: 2014 ~ 2015
- 项目地点: China
