1. 设备型号：PVD-Me1600
2．极限真空： 优于 8.0×10-4Pa（空载）；
3．漏率：关机1小时后真空度小于或等于0.67Pa；
4．抽速：从大气到5.0×10-3Pa≤ 15分钟（空载）；
5．工件架公转速度：转速可调（配脚踏板调控转架位置）；
6．断水报警自动保护系统；
7．控制方式采用PLC+触摸屏 控制；
8. 占地面积约： 4300*4000*3000mm； 设备总重： 约6300KG。
9．整机实际功率：约 40KW ；
10.电源电压：AC380V±5% 50HZ；
11.冷却水 5~10m3/h, 温度 20℃~23℃， 水压 0.2 ~0.3Mpa/cm2
12.压缩空气气压8~9atm, 1m3/h。
设备布局图
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